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        Product laser

        產品中心
        晶圓級TGV激光微孔設備
        產品簡介
        通過精密控制系統及激光改質技術,實現對不同材質的玻璃基板進行微孔、微槽加工,為后續的金屬化工藝實現提供條件。
        產品特點

        兼容性好,同時支持石英、硼硅、鈉鈣、鋁硅等多種不同玻璃材質

        可根據需求在基板上實現圓孔、方孔、埋孔、通孔以及微槽等多形態工藝

        優異的深孔特性,徑深比高達1:100,最小孔徑≤5μm

        良好的孔質量,側壁光滑、無裂痕

        優異的產能

        良好的定位及重復精度

        應用領域
        玻璃基芯片封裝、顯示芯片封裝等
        技術指標
        基板尺寸
        4~12英寸圓片或方片
        進料方式
        4~12英寸(花籃)自動
        加工形式
        激光固定+高精密運動平臺
        平臺速度
        ≤1000mm/s
        通孔形狀
        圓孔、方孔、埋孔、通孔、 微槽
        最小孔徑
        5μm
        最大徑深比
        1:100
        平臺精度
        重復定位精度≤ ±1μm;定位精度<±2μm
        圖形位置精度
        ≤±3um @300mm范圍
        設備產能
        ≥5000 points/s

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