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        Product laser

        產品中心
        板級TGV激光微孔設備
        產品簡介
        通過高精度平臺及控制系統,搭配更高效率的光學設計架構,匹配大幅面玻璃基板對通孔工藝及效率的雙重要求。
        產品特點

        高精度動態跟隨運動平臺,配合高響應運動控制模塊,使玻璃改質加工具備快速、準確、高效特性

        定制化成套光路系統,適用于多種玻璃材料加工,工藝效果穩定可靠

        多種視覺定位模式,可適應Mark、外輪廓等定位方式

        控制軟件由帝爾自主研發,支持中英文操作,交互體驗更友好

        應用領域
        玻璃基芯片封裝、顯示芯片封裝等
        技術指標
        基板尺寸
        <650x650mm向下兼容
        進料方式
        機械手/滾輪
        加工形式
        激光+高精密運動平臺
        平臺速度
        ≤1400mm/s
        通孔形狀
        圓孔、方孔、埋孔、通孔、 微槽
        最小孔徑
        5μm
        平臺精度
        重復定位精度≤±1.5um;定位精度≤±3um
        圖形位置精度
        ≤±5μm @600mm范圍;≤±3μm @300mm范圍
        設備產能
        ≥5000 points/s

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