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        Product laser

        產品中心
        OLED陣列激光修復設備
        產品簡介
        利用激光技術對陣列線路中O/S缺陷進行修復,改善OLED屏幕后期的亮/暗點線等問題,極大提升產品良率。
        產品特點

        支持G6代OLED TFT基板

        兼容性好,支持OLED制程中所有膜層材料修復(P-Si/Mo/Ti /Al/ITO/Ag等)

        選配靈活,可根據客戶制程技術任意配置

        修復成功率≥99.9%

        精密的光路控制系統,高精度對位及定位精度

        對接CIM系統,智能化/閉環反饋

        應用領域
        OLED制造
        技術指標
        設備尺寸 4100mm(L)x3600mm(W) x3400mm(H)
        設備環境(潔凈度) 低于100級
        玻璃基板尺寸 支持G4.5/G6代
        激光輸出穩定性 ≤ 2%,RMS
        平臺精度 重復定位精度≤ ±1μm;定位精度<±3μm
        薄膜類型 P-Si,Mo,Ti /Al/ Ti,ITO/Ag/ITO 等
        設備產能 循環周期:≤60s&帶頂升機構
        應用案例
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